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原子序数衬度指扫描电子束入射试祥时产生的背散射电子、吸收、X

发布时间:2018-06-21 18:32 来源:未知 编辑:admin

  包罗:概况描摹衬度和原子序数衬度。概况描摹衬度由试样概况的不服整性惹起。原子序数衬度指扫描电子束入射试祥时发生的背散射电子、接收电子、X射线,对微区内原子序数的差别相当敏感。原子序数越大,图像越亮。二次电子受原子序数的影响较小。高分子中各组分之间的平均原子序数不同不大;所以只要—些特殊的高分子多相系统才能操纵这种衬度成像。

  ②有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可间接察看各类试样凹凸不服概况的细微布局;

  C. 成像体例及所用的调制信号:当以二次电子为调制信号时,因为其能量低(小于50 eV),平均自在程短(10~100 nm摆布),只要在表层50~100 nm的深度范畴内的二次电子才能逸出样品概况, 发生散射次数很无限,根基未向侧向扩展,因而,二次电子像分辩率约等于束斑直径。当以背散射电子为调制信号时,因为背散射电子能量比力高,穿透能力强,可从样品中较深的区域逸出(约为无效感化深度的30%摆布)。在此深度范畴,入射电子已有了相当宽的侧向扩展,所以背散射电子像分辩率要比二次电子像低,一般在500~2000nm摆布。若是以接收电子、X射线、阴极荧光、束感生电导或电位等作为调制信号的其他操作体例,因为信号来自整个电子束散射区域,所得扫描像的分辩率都比力低,一般在l 000 nm或l0000nm以上不等。

  B. 入射电子束在样品中的扩展效应:扩散程度取决于入射束电子能量和样品原子序数的凹凸。入射束能量越高,样品原子序数越小,sem扫描电镜则电子束感化体积越大,发生信号的区域随电子束的扩散而增大,从而降低了分辩率.

  景深是指核心前后的一个距离范畴,该范畴内所有物点所成的图像合适分辩率要求,能够成清晰的图像;也即,景深是能够被看清的距离范畴。扫描电子显微镜的景深比透射电子显微镜大10倍,比光学显微镜大几百倍。因为图像景深大,所得扫描电子像富有立体感。电子束的景深取决于临界分辩本事d0和电子束入射半角αc。此中,临界分辩本事与放大倍数相关,因人眼的分辩本事约为0.2 mm, 放大后,要使人感受物像清晰,必需使电子束的分辩率高于临界分辩率d0 :电子束的入射角可通过改变光阑尺寸和工作距离来调整,用小尺寸的光阑和大的工作距离可获得小的入射电子角。

  A. 入射电子束束斑直径:为扫描电镜分辩本事的极限。一般,热阴极电子枪的最小束斑直径可缩小到6nm,场发射电子枪可使束斑直径小于3nm。

  扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观描摹察看手段,可间接操纵样品概况材料的物质机能进行微观成像。

  扫描电镜的放大倍数可暗示为M =Ac/As式中,Ac—荧光屏上图像的边长;As—电子束在样品上的扫描振幅。一般地,Ac 是固定的(凡是为100 mm),则可通过改变As 来改变放大倍数。目前,大大都商品扫描电镜放大倍数为20~20,000倍,介于光学显微镜和透射电镜之间,即扫描电镜填补了光学显微镜和透射电镜放大倍数的空挡。

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